在光腔衰荡光谱检测系统中，脉冲激光器作为光源，如下图所示，高反射率腔镜构成衰荡腔，当脉冲激光沿着光轴注入到腔内，激光脉冲在两个腔镜之间来回反射而形成振荡。在腔镜后，由光电探测器检测腔内激光脉冲的衰减过程，并记录激光在腔内的衰荡时间，在腔镜反射率已知的情况下，可以计算腔内气体浓度的变化。

图1、光腔衰荡光谱技术原理

图2、光腔衰荡光谱气体检测系统示意